現(xiàn)代供電網(wǎng)絡(luò)日趨龐大,彼此間的電磁耦合緊密,系統(tǒng)故障點引起的電壓擾動往往會波及更大范圍的用電負(fù)載。電力系統(tǒng)經(jīng)常因為短路等不可預(yù)防的故障引發(fā)電壓暫降問題。而在半導(dǎo)體行業(yè)中,芯片制造工藝復(fù)雜,芯片中電路的制作需層層疊代、環(huán)環(huán)相扣,芯片從硅圓片上線加工到芯片封裝銷售,整個過程將近上百道工序,一道工序的加工失誤均會導(dǎo)致整個晶圓片的報廢。
在半導(dǎo)體行業(yè)中的敏感負(fù)載有:廠務(wù)排風(fēng)系統(tǒng)(潔凈室)、PCW工藝水、UPW超純水系統(tǒng);光刻機(jī);離子注入機(jī);刻蝕機(jī);機(jī)臺控制系統(tǒng)等。這些系統(tǒng)或負(fù)載遇到電壓暫降之后,會受到不同程度的影響;嚴(yán)重時會導(dǎo)致整條生產(chǎn)線所生產(chǎn)的芯片報廢,給企業(yè)帶來很大的經(jīng)濟(jì)損失。
電壓暫降的危害是生產(chǎn)流程中斷造成的直接經(jīng)濟(jì)損失,還會出現(xiàn)成品率降低、延遲交貨、和設(shè)備壽命的降低;晃電事故嚴(yán)重的話,時還會影響企業(yè)在客戶心中的信譽(yù)度,從而導(dǎo)致的客戶流失等。
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